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本文利用流体动力学方法,对直流辉光放电阴极鞘层区域氮离子输运过程进行了数值模拟研究,将离子与中性分子间的动量交换碰撞引入离子在阴极鞘层区的运动方程,讨论了不同气压、不同初始离子密度比例对氮等离子体阴极鞘层区N+、N2+离子和电子密度、电位、电场强度沿鞘层轴向分布的影响.
直流辉光放电等离子体鞘层流体动力学模拟
【摘 要】
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本文利用流体动力学方法,对直流辉光放电阴极鞘层区域氮离子输运过程进行了数值模拟研究,将离子与中性分子间的动量交换碰撞引入离子在阴极鞘层区的运动方程,讨论了不同气压、不同初始离子密度比例对氮等离子体阴极鞘层区N+、N2+离子和电子密度、电位、电场强度沿鞘层轴向分布的影响.
【机 构】
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东北大学,辽宁,沈阳,110004 东北大学,辽宁,沈阳,110004;塑性成形模拟及模具技术国家
【出 处】
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第八届真空冶金与表面工程学术会议
【发表日期】
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2007年11期
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