直流辉光放电相关论文
尘埃等离子体是指包含大量纳米或微米量级尘埃颗粒的复杂等离子体系统。等离子体中尘埃颗粒的引入能显著改变等离子体的很多参量与......
尘埃等离子体是由电子、离子、中性分子和大量带电尘埃颗粒组成的复杂等离子体系统,其广泛存在于空间环境、实验室以及半导体加工......
本文自行设计圆柱形真空管以产生可达几帕的低压环境,并在65 Pa空气和14 Pa的空气-CO2混合气体直流放电中观测了管轴线上各点的发......
本文利用流体动力学方法,对直流辉光放电阴极鞘层区域氮离子输运过程进行了数值模拟研究,将离子与中性分子间的动量交换碰撞引入离......
目的 研制直流辉光放电低温等离子灭菌装置.方法 采用直流辉光放电等离子技术与激发过氧化氢气体,产生低温等离子体实施灭菌.结果 ......
采用直流辉光放电等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术方法 ,在Si(100)衬底上制备了金刚石薄膜 ,并在此基础上合成了含有少量晶态......
超纳米金刚石(Ultra-nanocrystalline diamond,UNCD)是一种晶粒尺寸小于20nm的新型纳米金刚石材料,具有极其光滑的表面、极低的表......
随着低温等离子体化学的发展,等离子体精炼方面的研究正越来越引起人们的重视。本文研究了冷等离子体强化金属熔体精炼的效果和机理......
大面积等离子片的工程应用日益成为人们关注的热点,其工程应用的两个主要方向为目标微波信号控制和等离子体反射面天线。微波信号控......
本论文的研究分为两部分,第一部分是非脉冲直流辉光放电等离子体降解水中染料的研究,第二部分是对苯二甲酸的新合成路线研究。 ......
大气压低温等离子体凭借其低温与非平衡特性,以及无需真空装置的优势,已被广泛用于薄膜沉积、表面改性、生物医学、臭氧生成和污染治......
大气压放电在表面处理、薄膜沉积、平板等离子体显示、准分子光源、污染物降解与检测等诸多领域有着广泛的应用前景。大气压辉光放......
本工作采用蒙特卡罗模拟方法对氮空心阴极放电鞘层区氮离子(N2+、N+)输运过程进行了的模拟研究,计算了氮离子(N2+、N+)在鞘层区及阴......
提高金属管内表面的硬度、耐磨性、抗蚀性等性能有着重要的工业应用价值。我们针对内径小于10 mm的金属管开发了一种利用直流辉光......
随着微电子工业的发展,辉光放电技术的应用领域越来越广泛。作为产生等离子体的一种主要的方式,长期以来,国内外学者从多方面对辉光放......
采用低气压氩气直流辉光放电等离子体对PVC细管内表面进行了处理,使其内表面亲水性得到显著改善,且处理效果均匀.处理时间越长PVC......
该文研究尘埃粒子在直流辉光放电阴极鞘层中的运动特性及悬浮位置。比较无碰撞鞘层和碰撞鞘层发现,尘埃粒子在碰撞鞘层中的悬浮位置......
利用直流辉光放电等离子体辅助的脉冲激光沉积技术在Si衬底上生长了碳氮薄膜 .通过扫描电子显微镜、X射线衍射、X射线光电子能谱、......
研究了Xe/I2 混合气体 (气压 70~ 1330Pa)在直流辉光放电情况下XeI 准分子的形成过程 ,得到了XeI 准分子在 2 40~ 2 70nm波长范围......
HL-2A是一个具有磁孔栏和轴对称编滤器的托卡马克装置,其真空抽气系统提供了装置真空室从大气到烘烤,直流辉光放电清洗所需要的抽......
阐述具有长正柱区的直流辉光放电工作电压与放电电流或工作气压之间的滞后效应即双稳态现象的实验研究工作.......
阐述直流辉光放电正柱区轴向不均匀性和不稳定性的实验研究工作....
采用直流辉光放电等离子体增强化学气相沉积技术方法,在Si(100)衬底上制备了金刚石薄膜,并在此基础上合成了含有少量晶态颗粒的非晶氮化碳薄......
介绍了HL-2A装置真空系统研制.它由真空主抽气系统、抽气偏滤器、直流辉光放电清洗系统组成.主抽气系统提供了装置真空室从大气到......
采用蒙特卡罗模型对氮空心阴极放电等离子体鞘层离子(N2^+、N^+)的输运过程进行了模拟研究.计算了阴极鞘层中氮离子(N2^+、N^+)的能量及角分......
采用直流辉光放电化学气相沉积设备,以H2/CH4/Ar混合气体为工作气体,在2英寸硅片沉积出了晶粒尺寸为20~40 nm的纳米金刚石薄膜。采......
光学发射光谱(OES)方法是等离子体诊断的有力工具之一,可以定量地给出等离子体的多种重要参数,如等离子体中的物种成分、粒子能态......
用自行组装的直流辉光放电原子发射光谱仪器对分析铜合金的某些基本特性进行了研究。探讨了光源放电室结构,放电气体压力,放电电压等......
本发明属于低温等离子体技术领域中材料表面改性技术,公开了一种利用直流辉先放电等离子体的细长金属管内表面常温注氮方法,其特征是......
通过对HL-1M装置的氦直流辉光放电清洗(He-GDC)的放电特点和清除率的研究,发现环形真空室的对称性导致与阳性截面对称的区域的场强很弱,使其阴极位......
半导体泵浦氩原子气体激光器是一种使用电激励和半导体激光两级泵浦的新型气体激光器,具有光束质量高、量子效率高、良好的大气传......
本文报道了氮气气压分别为10和20 Pa时,对直流辉光放电的发射光谱进行测量和分析的结果.选择的研究对象为N2放电中形成的N+2 B2Σ+......
利用发射光谱法对金属管内形成的稳定氩氮直流辉光等离子体进行了诊断。通过对等离子体发射光谱谱线的研究确定了等离子体中的活性......
采用粒子模拟与蒙特卡罗相结合的方法,通过编写三维的直流辉光放电电离的模拟程序,对其中的电子进行了研究,得到了直流辉光放电中电子......
近年来,大气压低温等离子体因其高度的化学活性和无需真空设备的优势,在工业材料表面处理、生物医疗杀菌消毒以及环保净化等方面受到......
本文介绍了一种采用直流辉光放电的氮原子离子束源的设计,对放电参数进行了分析,根据离子束流的质谱测量可知,氮离子束中N+与N+2之......
通过对混合气体氩和氖(Ar/Ne),氦和氖(He/Ne)以及氖和氮、氧气(Ne/N2,O2)直流辉光放电分析,结合等离子体粒子模拟实验(PIC),模拟分析了Ar/Ne、He/Ne......
建立了一维氩气直流辉光放电自洽流体模型,采用对流与扩散方程来描述带电粒子在间隙中迁移、扩散以及电子的能量变化过程,并考虑了......
报道了利用直流辉放光电正柱区产生冷气离子体对高分子材料进行表面改性的工作,阐述了它在纺织材料和非极性塑料制品表面改性上的应......
朗缪尔探针诊断教学实验结合等离子体物理学科发展特色,针对直流辉光放电正柱区,同时设计了朗缪尔单探针和双探针的诊断实验.实验......
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高气压、大电流直流辉光等离子体化学气相沉积方法能够快速沉积高品质金刚石膜。然而,高气压下直流辉光放电和以往的低气压直流辉光......
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辉光放电在微电子工业中的应用越来越广泛.为了研究直流辉光放电稳态等离子体的特性,采用粒子网格方法(PIC 法)与Monte Carlo 碰撞模......