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一种性能更优的高精度光电圆刻线机主轴转速自控系统
【机 构】
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重庆大学光电精密机械研究所
【出 处】
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中国仪器仪表学会精密机械学会精密机械系统与元件设计专委会第二届学术会
【发表日期】
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1989年期
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