【摘 要】
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上海深紫外自由电子激光装置将提供峰值功率约为100MW的高亮度70nm到300nm的深紫外光.为光化学和表面反应动力学、团簇科学、高分辨光电子谱学、辐射生物学等科学研究以及超微薄膜沉积、纳米颗粒制备、超精细加工、蛋白质分析、光刻等产业应用提供了巨大机会.本文对上海深紫外自由电子激光装置的物理设计进行了简要描述,并给出了设计的初步结果.
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室(合肥)
【出 处】
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第七届全国激光科学技术青年技术交流会
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上海深紫外自由电子激光装置将提供峰值功率约为100MW的高亮度70nm到300nm的深紫外光.为光化学和表面反应动力学、团簇科学、高分辨光电子谱学、辐射生物学等科学研究以及超微薄膜沉积、纳米颗粒制备、超精细加工、蛋白质分析、光刻等产业应用提供了巨大机会.本文对上海深紫外自由电子激光装置的物理设计进行了简要描述,并给出了设计的初步结果.
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