论文部分内容阅读
用改进的恒压微探针方法设备64×64元InSb凝视红外焦平面器件用光伏探测器列阵芯片的性能进行了统计抽样检测和均匀性评价，统计检测项目有像元零偏压电阻及其分布，像元黑体响应率及其分布，动态电阻偏压依赖关系，以及像元电学串音。结果表明冷探针统计抽样检测可作为评价二维InSb探测器列阵芯片性能的有效手段，其检测结果可作为挑选焦平面器件互连用芯片的重要依据。