【摘 要】
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CCD器件调制传递函数的测试多采用"静态"定焦技术,即先通过精密位移台将CCD器件定位到刀口或狭缝的焦面处,再进行扫描,获得刀口或狭缝扫描函数,平滑、插值、微分后经离散傅立
【机 构】
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中国电子科技集团公司第41研究所; 青岛市质量技术监督局开发区分局;
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CCD器件调制传递函数的测试多采用"静态"定焦技术,即先通过精密位移台将CCD器件定位到刀口或狭缝的焦面处,再进行扫描,获得刀口或狭缝扫描函数,平滑、插值、微分后经离散傅立叶变换得到调制传递函数。为减小定焦精度对调制传递函数测量不确定度的影响,文中介绍了一种"动态"定焦技术测量CCD器件调制传递函数的方法。该方法无需将CCD器件定位到焦面上,只需在三倍的焦深范围内不同位置处扫描刀口函数,经平滑、插值、微分和离散傅立叶变后可获得不同位置处的MTF曲线。由这些MTF曲线,利用定焦准则求出焦面位置ZF,再用插值法便可获得焦平面ZF处的MTF曲线。
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