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本文分析了S波段大功率移相器的原理和移相器的多项关键制作工艺。通过对制作的移相器进行批量测试，微波性能较好，具有插入损耗小、移相精度高、耐功率大等优点。对测试的幅相数据进行一致性分析，表明过程控制能力较好，成品率较高。
S波段大功率数字移相器工程化研究
【摘 要】
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本文分析了S波段大功率移相器的原理和移相器的多项关键制作工艺。通过对制作的移相器进行批量测试，微波性能较好，具有插入损耗小、移相精度高、耐功率大等优点。对测试的幅相数据进行一致性分析，表明过程控制能力较好，成品率较高。
【机 构】
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南京电子技术研究所,国防科技工业军用微组装技术研究应用中心,南京 210039
【出 处】
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第十七届全国混合集成电路学术会议
【发表日期】
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2011年6期
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