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在真空系统中，接口之间的密封主要有金属不橡胶密封。因为橡胶属于自紧密封，是一种适应性很强的密封件，所以其广泛应用于真空系统中。本文实验研究O 形氟橡胶圈放气特性对痕量气体分析的影响，在利用超高真空封闭式离子源的四极质谱系统，对O 形氟橡胶圈释放气体进行分析。实验収现O 形氟橡胶圈释放大量的氧气等杂质气体，在痕量杂质分析系统上，不适合使用O 形橡胶圈作为密封器件。