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本文介绍了MEMS Low-g加速度传感器测试系统的试验装置,对试验装置的各个组成部分进行了介绍，阐述了测试加速度传感器灵敏度、加速度线性度和零点漂移的测量和计算方法，以自主研发的倾斜传感器作为试验对象,进行了试验测试,并给出了试验结果。
MEMS Low-g加速度传感器测试系统的试验研究
【摘 要】
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本文介绍了MEMS Low-g加速度传感器测试系统的试验装置,对试验装置的各个组成部分进行了介绍，阐述了测试加速度传感器灵敏度、加速度线性度和零点漂移的测量和计算方法，以自主研发的倾斜传感器作为试验对象,进行了试验测试,并给出了试验结果。
【机 构】
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智芯(厦门)微电子有限公司 厦门 361022
【出 处】
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第19届中国过程控制会议
【发表日期】
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2008年5期
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