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讨论了利用拉曼光谱来定量分析由单晶硅和多晶硅材料构成的微机械结构应力测试方法,说明了该方法的基本原理,推导了单晶硅应力σ与相对拉曼频移△ω及多晶硅应力τ与相对拉曼频移△ω的关系,使基于硅体系的拉曼应力测试公式体系化.应用拉曼光谱测试方法对微加速度计悬臂梁和微谐振器支撑梁进行了应力测试.
基于拉曼光谱的微结构应力测试方法
【摘 要】
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讨论了利用拉曼光谱来定量分析由单晶硅和多晶硅材料构成的微机械结构应力测试方法,说明了该方法的基本原理,推导了单晶硅应力σ与相对拉曼频移△ω及多晶硅应力τ与相对拉曼
【机 构】
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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
【发表日期】
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2005年z1期
【基金项目】
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国家863高技术研究发展计划资助项目(2004AA404040);山西省归国留学人员基金资助项目
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