加速度计是重要惯性传感器件之一，目前已广泛应用于导弹制导、飞机导航、人造卫星的姿态控制、刹车控制系统、大型电器设备的振动遥测以及石油勘探等领域。基于光波导的集成光学传感器件具有小型化、集成化、高灵敏度和抗电磁干扰等优点，已被认为是目前高性能传感器件的重要发展方向之一。本文利用低损耗聚合物材料制备了一种基于马赫—曾德尔干涉(MZI)结构的加速度传感芯片(如图2)，并搭建信号测试系统实现了加速度信号的提取。信号测试系统由信号调理电路、A/D转换电路、信号解调电路和电压输出电路构成，如下图1所示。其中，加速度信号引起信号臂内光相位变化，从而使两臂光信号经耦合器干涉后的输出光强发生变化。输出光强信号通过放大、滤波及A/D转化后输入FPGA信号解调模块，其解调结果由电压输出接口模块显示，即加速度信号。该系统不仅可以实现集成光学加速度计的信号提取，也对传感单元的优化设计具有重要作用。