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微热板的热测试和热分析
微热板的热测试和热分析
来源 :中国工程热物理学会传热传质学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kaifeng_chen
【摘 要】
:
微热板作为一种微型加热器在微传感器中有着极为重要的作用。安的温度分布和热特性直接影响微传感器的工作性能。该文针对研制中的气体传感器的微热板,用红外热成像技术进行热
【作 者】
:
顾毓沁
张荣海
朱德忠
孙晓毅
阎桂珍
唐祯安
【机 构】
:
北京清华大学工程力学
【出 处】
:
中国工程热物理学会传热传质学学术会议
【发表日期】
:
2000年期
【关键词】
:
微热板
热测试
气体传感器
温度分布
微传感器
红外热成像技术
微型加热器
微小区域
工作性能
热特性
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微热板作为一种微型加热器在微传感器中有着极为重要的作用。安的温度分布和热特性直接影响微传感器的工作性能。该文针对研制中的气体传感器的微热板,用红外热成像技术进行热测试和分析,获得气体传感器微热板的微小区域的温度分布,为传感器的研制提供了可靠的依据。
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