切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
会议论文
Co/Si/Ti/Si固相反应异质外延生长CoSi<,2>(100)薄膜
Co/Si/Ti/Si固相反应异质外延生长CoSi<,2>(100)薄膜
来源 :第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:neverdrop920
【摘 要】
:
该文报道通过Co/Si/Ti/Si(100)多层薄膜固相反应在(100)Si上异质外延生长CoSi〈,2〉薄膜。研究了该多层结构经不同温度退火的固相反应特性。在有CMOS电路的Si片上淀积该结构,通过两步退火加选择腐蚀工艺,可形成自对
【作 者】
:
屈新萍
茹国平
【机 构】
:
大学电子工程系
【出 处】
:
第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会
【发表日期】
:
1997年期
【关键词】
:
固相反应
异质外延生长
多层薄膜
两步退火
多层结构
腐蚀工艺
反应特性
自对准
选择
温度
淀积
电路
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
该文报道通过Co/Si/Ti/Si(100)多层薄膜固相反应在(100)Si上异质外延生长CoSi〈,2〉薄膜。研究了该多层结构经不同温度退火的固相反应特性。在有CMOS电路的Si片上淀积该结构,通过两步退火加选择腐蚀工艺,可形成自对准COSi〈,2〉薄膜。
其他文献
真空蒸发Cd1-xZnxS薄膜的光敏性研究
会议
真空蒸发
薄膜
硅衬底上的Co-Ti-Si多层薄膜固相反应
会议
硅衬底
多层薄膜
基于流体分析软件的城市物理环境分析研究
随着我国城市化进程的推进,对人居环境的研究成为规划的重要部分,而物理环境是人居环境的重要组成.本文以南京青龙地铁小镇绿地系统规划为例,对项目中涉及的风环境等物理环境
期刊
绿地景观系统规划
城市物理环境
风环境分析
青龙地铁小镇
光加热法用于YBCO薄膜淀积和处理初步实验
用直流磁控溅方法用卤灯加热基片制备出了Tc~87~88K的YBCO超导薄膜。介绍了光 加热器的主要考虑及用于大面积薄膜制备的初步实验结果,对工艺中的有关问题进行了讨论。
会议
加热法
薄膜淀积
处理
直流磁控溅
卤灯加热
基片制备
超导薄膜
薄膜制备
加热器
大面积
实验
工艺
方法
泵站施工过程中裂缝的成因与防范策略
泵站是一种动力的建筑装置,在排水,输水,灌溉等方面起着重要作用,同时对中国的经济发展中也起着重要作用.然而在建造泵站的过程中经常会发生不希望的混凝土开裂现象,这不仅降
期刊
泵站施工
裂缝
成因
策略
市政给排水施工问题及对策
市政工程当中给排水施工质量直接决定着城市当中的整个生态系统的平衡以及城市居民日常生活、工作生产的质量.一直以来,无论是城市规划发展还是城建规模的扩大,给排水都是第
期刊
市政给排水
给排水施工
施工问题
施工对策
美国育成抗根瘤线虫的玉米品种
美国农业研究局最近成功育成一系列抗根瘤线虫玉米新品种。这些新品种玉米不但可使在其根部产卵并进行孵化的多数线虫很快死亡 ,并且能延长幼虫发育为成虫的时间和减少危害作
期刊
玉米品种
线虫
根瘤
瘤状物
玉米植株
美国农业研究局
黄麻根
作物减产
根节
抗线虫
化工机械设备安全特性及故障诊断技术分析
此文简单介绍了化工机械设备的安全特点,详细分析了化工机械设备故障的诊断方法,并研究了降低化工机械故障的方法.
期刊
化工机械设备
安全特性
故障诊断技术
分析
YSZ薄膜的制备及应用
研究了在NASICON基板上使用溅射法制备的YSZ薄膜的结构、晶相和导电性,实验表明,刚制备的YSZ薄膜经750℃常规退火处理后,薄膜表面致密、均匀、无裂纹,具备良好的导电性能。YSZ/NA
会议
膜的制备
导电性能
薄膜表面
气体传感器
响应时间
退火处理
辅助电极
无裂纹
能检测
组合
致密
实验
晶相
结构
溅射
基板
构成
法制
风机安装工艺改进与发展方向研究
近些年来节能减排变为了我国现代化建设过程中十分重要的话题,环境保护政策作为必然要求,要求给予一定的重视.风力发电也得到了较快的发展,本文则从风力发电的实际情况出发,
期刊
风机安装
塔筒
混凝土
电气
与本文相关的学术论文