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本文利用实验室的高分辨X射线衍射仪,测定了由脉冲激光生长的SrTiO3(STO)薄膜的晶格应变及应变随薄膜厚度的变化;实验表明,薄膜的晶格应变在膜内不是均匀分布的,可以分为3个深度区域,即表面张力区域、界面释放区域和薄膜应变线形分布区域.原位X射线衍射实验确定了薄膜的晶格参数随温度的变化,显示完全不同于相应的体块材料,这可能是有于衬底与薄膜之间不同的热膨胀行为造成的.