【摘 要】
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飞秒激光的脉宽极短,聚焦后光场极强可使物质发生高度的非线性作用,制备的微纳结构与器件具有真三维可设计、高加工分辨率的特点;探索新颖的纳米材料组装技术可为实现纳米
【机 构】
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吉林大学 电子科学与工程学院 集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区,长春市前进大街2699号,130021
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飞秒激光的脉宽极短,聚焦后光场极强可使物质发生高度的非线性作用,制备的微纳结构与器件具有真三维可设计、高加工分辨率的特点;探索新颖的纳米材料组装技术可为实现纳米功能化新型结构与器件提供方法[1,2]。我们提出利用飞秒激光光动力组装技术进行纳米材料组装,具体是利用飞秒激光的强光场诱导的光镊作用力和微纳尺度的聚焦区域,结合预先结构设定可实现结构化的纳米材料聚集沉积组装。图 1a为以组装 CdTe 量子点为例利用飞秒激光光动力组装技术进行纳米粒子组装的制备系统示意图,将涂覆CdTe 量子点溶液的盖玻片置于飞秒激光直写加工系统中,量子点在激光的作用下通过范德华力固定于基底上,形成 CdTe 量子点图案,并且该量子点图案具有荧光发射性质(图 1b)[3]。另外选择金纳米粒子溶液作为加工对象,利用如上加工系统可实现金粒子的图案化,并证明了基片表面的纳米尺度物质同金属线间互连技术的灵活性[4]。此外,也选择了磁性纳米粒子作为加工对象,制备磁性微纳结构并在外加磁场的控制下实现对微机械的驱动。
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