【摘 要】
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氮化钛涂层因具有良好的耐蚀性、耐磨性及低的摩擦系数在工业上得到广泛应用.本文研究了采用离子镀技术在GCr15合金表面制备氮化钛涂层的工艺,通过研究获得了该合金有效的镀
【出 处】
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2004全国真空冶金与表面工程学术研讨会
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氮化钛涂层因具有良好的耐蚀性、耐磨性及低的摩擦系数在工业上得到广泛应用.本文研究了采用离子镀技术在GCr15合金表面制备氮化钛涂层的工艺,通过研究获得了该合金有效的镀前清洗工艺,使用该工艺可以使合金基体获得很高的表面清洁度,从而提高了涂层与基体的结合力.由于氮化钛涂层与基体GCr15合金之间的热膨胀系数存在较大差异而造成的残余应力,会导致裂纹的产生,在本研究中通过在合金表面加镀一层纯钛作为过渡层,有效的降低了残余应力的影响,本文分析了镀膜工艺参数:氮气的分压力、负偏压、沉积时间及沉积温度,与氮化钛涂层性能之间的关系.通过合理的工艺参数控制,最终在GCr15合金合金表面制备出具有良好结合力和耐磨性的氮化钛涂层.
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