【摘 要】
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针对半导体制造工艺参数窗口确定过程中要寻找多个极值点的问题,将小生境微粒群优化算法引入其中,通过构造适当的目标函数并结合工艺控制要求,提出一种参数窗口选择方法。在
【机 构】
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同济大学电子与信息工程学院,上海,200092 亚德诺半导体技术(上海)有限公司,上海,200021
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针对半导体制造工艺参数窗口确定过程中要寻找多个极值点的问题,将小生境微粒群优化算法引入其中,通过构造适当的目标函数并结合工艺控制要求,提出一种参数窗口选择方法。在标准一维和二维多峰函数上的测试结果和实际生产验证结果表明:该算法是一种有效的参数窗口选择方法。
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