【摘 要】
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作为极紫外光刻机的一个关键子系统,真空工件台的运行精度、速度、加速度以及动态定位和扫描同步性能是影响整机成像质量、套刻精度和产率的重要因素.对于工件台的结构设计,体积小、轻量化、好的散热性是基本要求.基于上述原因,本文设计了适用于45nm节点的极紫外光刻工件台系统,并用ansys软件对其进行了结构仿真分析.根据仿真结果,提出了优化设计方案.
【机 构】
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中国科学院电工研究所,北京,100080
【出 处】
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第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会
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作为极紫外光刻机的一个关键子系统,真空工件台的运行精度、速度、加速度以及动态定位和扫描同步性能是影响整机成像质量、套刻精度和产率的重要因素.对于工件台的结构设计,体积小、轻量化、好的散热性是基本要求.基于上述原因,本文设计了适用于45nm节点的极紫外光刻工件台系统,并用ansys软件对其进行了结构仿真分析.根据仿真结果,提出了优化设计方案.
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