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超大NA浸没光刻机投影物镜偏振像差分析与检测原理研究
超大NA浸没光刻机投影物镜偏振像差分析与检测原理研究
来源 :第十七届全国光学测试学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:baozhuangpms
【摘 要】
:
偏振像差是超大NA浸没光刻机投影物镜成像性能的重要组成部分。在超大NA浸没物镜成像过程中,偏振像差会导致经过投影物镜的光的偏振态发生改变,进而会影响成像对比度。
【作 者】
:
倪晟
王健
郁毅敏
【机 构】
:
上海微电子装备(集团)股份有限公司上海201203
【出 处】
:
第十七届全国光学测试学术交流会
【发表日期】
:
2018年8期
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偏振像差是超大NA浸没光刻机投影物镜成像性能的重要组成部分。在超大NA浸没物镜成像过程中,偏振像差会导致经过投影物镜的光的偏振态发生改变,进而会影响成像对比度。
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