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会议论文
应用于微加工的观察定位系统
应用于微加工的观察定位系统
来源 :中国空间科学学会空间探测专业委员会第二十次学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cy2cc
【摘 要】
:
本论文设计了一套微加工适时监控定位系统。根据微加工过程中遇到的定位问题,采用同轴方式,通过变焦镜头配合物镜将加工面成像在CCD传感器上的方法,实现了对加工面的监控;利用软
【作 者】
:
杜国军;王咏梅;王英鉴;
【机 构】
:
中国科学院空间科学与应用研究中心 北京 100080
【出 处】
:
中国空间科学学会空间探测专业委员会第二十次学术会议
【发表日期】
:
2007年期
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本论文设计了一套微加工适时监控定位系统。根据微加工过程中遇到的定位问题,采用同轴方式,通过变焦镜头配合物镜将加工面成像在CCD传感器上的方法,实现了对加工面的监控;利用软件设置定位线,实现了对微小器件精确定位。解决准分子激光微细加工的观测定位问题。
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会议
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会议
奥氏体不锈钢
模拟
燃料
溶液
应力腐蚀
均匀腐蚀
晶间腐蚀
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稳定性
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富集
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动力堆
燃料棒
轴向
燃耗测量
多道γ谱仪
堆燃料组件
扫描
分布曲线
测量原理
测量系统
测量设备
测量结果
方法及
显示
上部
间隙
堆积
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会议
合金基体
超临界水
腐蚀实验
高压釜
电子显微镜
元素扩散
燃料包壳
降温过程
相组织
水环境
热处理
温度
体内
水淬
含量
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程度
变形
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