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沉积温度对CVDZnS的生长影响显著.但在本文所选的温度区间内ZnS的生长速率几乎没有变化,结合放热CVD反应的速率曲线对此进行了分析研究.另外随温度的升高,粉末及球状生长加剧,严重景影响ZnS的光学、力学性能以及表观质量.降低沉积温度可显著遇制两种生长的同时却加大了沉积产物与衬底分离并向上拱起的程度.文章对上述三种有害现象的机理分别加以阐述并提出了相应的解决方案。