【摘 要】
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用磁控离子溅射法在玻片上沉积了氧化钒薄膜,并进行了X射线衍射(XRD)和常温下光谱透过率测量.用1.319μm连续波激光辐照样品,实时测量了氧化钒薄膜的温度变化,以及由于温度变
【机 构】
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中国工程物理研究院,流体物理研究所,四川,绵阳,621900
【出 处】
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第八届全国激光科学技术青年学术交流会
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用磁控离子溅射法在玻片上沉积了氧化钒薄膜,并进行了X射线衍射(XRD)和常温下光谱透过率测量.用1.319μm连续波激光辐照样品,实时测量了氧化钒薄膜的温度变化,以及由于温度变化引起相变后对激光透过率的变化.结果表明,入射到薄膜表面的平均功率密度为283W/cm、光斑直径2mm时,激光出光480ms后,VO2的温度从室温上升到约100℃,薄膜发生了相变,其对1.319μm激光的透过率从相变前的47﹪降为相变后的28﹪;激光出光160ms后,V2O5的温度从室温上升到约225℃,薄膜发生了相变,其对1.319μm激光的透过率从相变前的63﹪降为相变后的30﹪.介绍了氧化钒薄膜的相变原理以及在激光防护中的可能应用.
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