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石英晶片表面化学机械抛光试验研究
【机 构】
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清华大学摩擦学国家重点实验室,北京,100084;深圳清华大学研究院 深圳518057 深圳清华大
【出 处】
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第九届全国摩擦学大会
【发表日期】
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2009年12期
其他文献
The intake system is designed in order to get high torque in the low-speed section and change the parameter of the intake pipe.Through theory analyses,after the parameter of the intake pipe is changed