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采用Sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备镧掺杂(BaZr0.2Ti0.8)O3(BZT)薄膜.结果表明:掺锢的BZT薄膜为钙钛矿结构,随着镧掺量增加,其晶体结构由四方相变为立方相;BZT薄膜晶粒尺寸随镧掺量增加先增大后减小;镧显著地降低了BZT薄膜的介电常数,但介电常数随镧掺量变化不大.