【摘 要】
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本文探究亚稳态解吸附离子源的电离效率特性，包括流速、电场等参数对亚稳态解吸附装置电离效率的影响。结果表明放电功率和放电气体流速都存在一个最优值：流速保持5.7m/s时随着
【机 构】
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中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室,合肥 230031
【出 处】
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2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
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本文探究亚稳态解吸附离子源的电离效率特性，包括流速、电场等参数对亚稳态解吸附装置电离效率的影响。结果表明放电功率和放电气体流速都存在一个最优值：流速保持5.7m/s时随着放电电压逐渐升高，放电模式从电晕到辉光转变过程中，离化效率急速上升，后由于浓度逐渐趋于饱和增加离子复合导致其又逐渐趋于一个稳定的值;放电电压恒定2.1kV时，当流速小于9.0m/s，离化效率保持一个线性相关度r=0.9986的趋势随流速增长。本文所研究的微量一痕量现场检测用离子源具有独特的软电离、低离子歧视、无需样品前处理、操作简便、快速高通量和高电离效率等优点，也可以在表面分析、原位成像、样品筛查，真伪鉴定，指纹图谱等方面成为独有的技术。此外，从材料、结构和参数控制等方面针对放电稳定性进行了优化设计并提出展望。
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