【摘 要】
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<正>1陶瓷空心阴极电子枪概述空心阴极放电(Hollow Cathode Discharge,HCD),具有低电压、大电流、离化率高、粒子能量大、设备简单、成本低和无公害等优点,近年来被广泛应用
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<正>1陶瓷空心阴极电子枪概述空心阴极放电(Hollow Cathode Discharge,HCD),具有低电压、大电流、离化率高、粒子能量大、设备简单、成本低和无公害等优点,近年来被广泛应用于真空冶炼,半导体,核物理,离子镀等众多领域。尤其是做为真空离子镀膜机的离化和加热源,更是被当做一种纯熟的技术在国内外大量的使用着。以往的空心阴极离子镀膜设备是把自电子枪中的钽管由空心阴极效应产生的电子通过磁场
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