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会议论文
微压力传感器制作工艺对其性能的影响
微压力传感器制作工艺对其性能的影响
来源 :第四届全国微米/纳米技术学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dancheman001
【摘 要】
:
影响微压力传感器性能的因素很多,除了从结构设计上来提高或改善传感器的性能外,通过控制和改进工艺也能提高或改善传感器性能指标.本文就是从微制作技术的角度来分析工艺对
【作 者】
:
蒋庄德
岳彩青
姚鹏
赵玉龙
【机 构】
:
西安交通大学精密工程研究所
【出 处】
:
第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
:
2000年期
【关键词】
:
微压力传感器
制作工艺
性能指标
技术的角度
结构设计
改进工艺
微制作
控制
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影响微压力传感器性能的因素很多,除了从结构设计上来提高或改善传感器的性能外,通过控制和改进工艺也能提高或改善传感器性能指标.本文就是从微制作技术的角度来分析工艺对性能的影响.
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