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影响微压力传感器性能的因素很多,除了从结构设计上来提高或改善传感器的性能外,通过控制和改进工艺也能提高或改善传感器性能指标.本文就是从微制作技术的角度来分析工艺对性能的影响.
微压力传感器制作工艺对其性能的影响
【摘 要】
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影响微压力传感器性能的因素很多,除了从结构设计上来提高或改善传感器的性能外,通过控制和改进工艺也能提高或改善传感器性能指标.本文就是从微制作技术的角度来分析工艺对
【机 构】
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西安交通大学精密工程研究所
【出 处】
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第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2000年期
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微压力传感器由于体积小、重量轻、精度高、成本低等特点应用很广泛，其某些领域已取代传统的传感器，进一步研制小体积高精度的传感器并扩大应用范围已是势在必行。该文主要从提
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