电容检测型微差压传感器

来源 :第四届全国微米/纳米技术学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jifengrgj
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在市场上,对于大于1psi压力测量的器件较多,当然市场也较大.对于微压的测量,一般微压检测器件的下限为600Pa.可检测600Pa以下微差压器件几乎没有(国内没有生产).本文主要介绍一种新型的电容检测型微差伺服传感器芯片.内容包括其结构和工艺实现,并对完成的差压传感器进行了检测,检测结构表明该器件对小于100Pa的差压敏感,并有较好的灵敏度.不仅可用于净化车间的气压监控,还可广泛用于类似气体管道中的表压、真空压的检测.
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