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本文提出一种用X射线三轴晶衍射测量C-GaN晶格常数的新方法.实验测定完全弛豫的C-GaN的晶格常数为4.5036±0.0004A,这非常接近理想晶体的计算值.双晶X射线衍射的零点误差为0.004°,在测量精度之内.
C-GaN/GaAs(001)晶格常数测量的新方法
【摘 要】
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本文提出一种用X射线三轴晶衍射测量C-GaN晶格常数的新方法.实验测定完全弛豫的C-GaN的晶格常数为4.5036±0.0004A,这非常接近理想晶体的计算值.双晶X射线衍射的零点误差为0.004°,在测量精度之内.
【机 构】
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中科院半导体研究所,集成光电子学国家联合重点实验室(北京)
【出 处】
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第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
【发表日期】
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2002年3期
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