论文部分内容阅读
该文就变温沉积非晶硅薄膜及其沉积薄膜的性能进行了研究。通过变温沉积并适当控制其它参数，制备了在法线方向上结构具有变化的薄膜，解决了用于液晶光阀的非晶硅光导层的针孔及脱落问题，获得了性能优良的实用非晶硅薄膜。ＩＲ、ＳＥＭ及可见光谱分析表明了，变温沉积薄膜的表观性能与沉积全过程中单位时间内的平均沉积温度有正比关系，在薄膜法线方向上微观结构出现变化，沉积温度低，薄膜结构变得疏松。