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PECVD法低温形成纳米级薄膜中微观组份对界面电特性影响的分析研究
【机 构】
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理工大学应用物理系(广州)
【出 处】
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'98全国材料表面与界面的科学与工程研讨会
【发表日期】
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1998年期
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