8英寸高压快恢复二极管用外延材料的生长

来源 :2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangying428
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  快恢复二极管是一类很重要的开关器件,目前已在各种电子设备特别是开关电源中广泛应用。随着开关器件的不断进步,工作频率的不断提高,对相关功率二极管性能的要求也越来越高,其中尤以与开关器件匹配使用的功率二极管要求最为特殊,该二极管的反向恢复特性,如反向恢复时间、反向恢复软度,可显著的减少功率损耗,由于IGBT VDMOS开关速度快,因此要求快恢复二极管不仅反向恢复要很快,而且要求软特性,以避免产生高的电压尖峰,避免产生射频干扰和电磁干扰。如何提高器件的软恢复特性成为快恢复二极管的新课题。我国至目前为止还没有商业化的批量生产,成规模的IGBT封装厂所用的快恢复二极管也完全依赖进口,因此实现该产品的稳定批量生产,对国内节能、变频、及汽车电子等行业的国产化起着至关重要的作用。
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