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半导体制造执行系统研究
半导体制造执行系统研究
来源 :2012年第二届全国现代制造集成技术学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangyananqd
【摘 要】
:
结合目前半导体生产的发展以及半导体行业自身特点,简单介绍半导体行业实施执行制造系统(MES)的意义和作用,总结了现有的半导体制造业MES软件的特点,提出了一种半导体MES的原
【作 者】
:
陈琦
陆剑峰
【机 构】
:
同济大学CIMS 研究中心,上海 201804
【出 处】
:
2012年第二届全国现代制造集成技术学术会议
【发表日期】
:
2012年期
【关键词】
:
半导体行业
制造执行
半导体制造业
意义和作用
半导体生产
MES
自身特点
制造系统
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结合目前半导体生产的发展以及半导体行业自身特点,简单介绍半导体行业实施执行制造系统(MES)的意义和作用,总结了现有的半导体制造业MES软件的特点,提出了一种半导体MES的原型模型,并对该模型的每个模块进行分析与阐述。
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