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会议论文
用原子力显微镜实测微区的位移场
用原子力显微镜实测微区的位移场
来源 :第九届全国实验力学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:A58400794
【摘 要】
:
该文介绍用原子力显微镜测量微区表面形貌,并结合数字图像相关分析,实测得微区位移场,按显微镜的精度,测量分辨率可达纳米量级。作为应用实例,还介绍了金属损伤观测和单晶硅片键接
【作 者】
:
徐武城
陈翔
【机 构】
:
金陵石化职工大学南京船舶检验局
【出 处】
:
第九届全国实验力学学术会议
【发表日期】
:
2000年1期
【关键词】
:
细观
位移
原子力显微镜
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该文介绍用原子力显微镜测量微区表面形貌,并结合数字图像相关分析,实测得微区位移场,按显微镜的精度,测量分辨率可达纳米量级。作为应用实例,还介绍了金属损伤观测和单晶硅片键接界面处热变形试验。
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