【摘 要】
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波长大于1.7 μm的高In组分InGaAs短波红外探测器由于其在红外遥感、夜视、光谱测量等方面都有着重要应用[1-3],引起了越来越多的关注.如果高In组分InxGa1-xAs(x＞0.53)吸收层
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050
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波长大于1.7 μm的高In组分InGaAs短波红外探测器由于其在红外遥感、夜视、光谱测量等方面都有着重要应用[1-3],引起了越来越多的关注.如果高In组分InxGa1-xAs(x＞0.53)吸收层直接生长在InP衬底上,吸收层中将产生许多由外延层与衬底之间的失配引起的位错,从而影响探测器的性能.为提高探测器质量,在衬底和吸收层之间插入合适的缓冲层以释放应力就显的尤为必要.
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