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集成一体化多功能敏感元件的设计与研制
集成一体化多功能敏感元件的设计与研制
来源 :第八届敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:guihuxinxi
【摘 要】
:
将制作工艺兼容,工作原理相近的温度、湿度、光敏、气敏四种传感器设计并制作在同一块陶瓷基片上,实现了这四种传感器的集成一体化.
【作 者】
:
张彤
徐宝琨
董艳
林洪
【机 构】
:
电子科学与工程学院,吉林大学(中国长春)
【出 处】
:
第八届敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
:
2003年期
【关键词】
:
集成一体化
多功能
敏感元件
传感器
制作
陶瓷基片
工作原理
工艺兼容
温度
湿度
设计
光敏
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将制作工艺兼容,工作原理相近的温度、湿度、光敏、气敏四种传感器设计并制作在同一块陶瓷基片上,实现了这四种传感器的集成一体化.
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