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用于集成光波导的SOI材料制备
用于集成光波导的SOI材料制备
来源 :第四届全国微米/纳米技术学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:luping303
【摘 要】
:
本文介绍了采用键合-背面腐蚀的方法制备SOI材料(BESOI),硅膜的厚度为8μm,绝缘层SiO厚1.3μm,用于集成光波导器件和功率分配器的研制.
【作 者】
:
杨艺榕
传感技术国家重点联合实验室
王跃林
【机 构】
:
中国科学院上海冶金研究所
【出 处】
:
第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
:
2000年期
【关键词】
:
集成光波导器件
功率分配器
绝缘层
键合
厚度
硅膜
腐蚀
法制
材料
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本文介绍了采用键合-背面腐蚀的方法制备SOI材料(BESOI),硅膜的厚度为8μm,绝缘层SiO<,2>厚1.3μm,用于集成光波导器件和功率分配器的研制.
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