光学干涉测量技术的发展与仪器

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<正>在光学制造与光学系统的装校调整中,干涉测量技术是最重要的手段之一。对于干涉条纹的判读与分析,直接影响到光学制造与系统的精度。从牛顿时代开始,人们就使用了这一手段。最初,干涉计量是人眼对静态干涉条纹的判读。随着计算机技术的应用,计算机对条纹的灰度分析被引入替代人眼的判读。相
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