【摘 要】
:
采用射频溅射工艺在石英基片上制备了未掺杂和掺Al 5at%,10at%及20at%的ZnO薄膜。研究了薄膜的透过率,结果表明随着Al浓度的增加,薄膜光学吸收边蓝移,掺Al 20at%薄膜的禁带宽度展
【出 处】
:
四川省电子学会传感技术第十届学术年会
论文部分内容阅读
采用射频溅射工艺在石英基片上制备了未掺杂和掺Al 5at%,10at%及20at%的ZnO薄膜。研究了薄膜的透过率,结果表明随着Al浓度的增加,薄膜光学吸收边蓝移,掺Al 20at%薄膜的禁带宽度展宽到3.93eV。在薄膜上真空蒸发沉积金叉指电极制备了MSM结构光电导紫外探测器,光谱响应测试表明5V偏压下未掺杂的探测器在375nm紫外光照下达到最大值,响应度为1.97A/W,对450nm以上可见光响应度减小了1个数量级。随着Al浓度的增加,响应度逐渐减小,响应峰位置无明显变化。
其他文献
谭其猛教授生于1914年,原籍浙江嘉兴。1934年毕业并就教于浙江大学农学院,以后辗转于云南、甘肃等地任教和从事技术工作。1944年被复旦大学聘请为副教授。1952年全国高等学
本文对我国科技期刊的发展进行了探讨。文章总结并分析了我国科技期刊面临的问题,提出了科技期刊适应市场化发展的建议。
本文简要介绍了用于应变、温度测量的光纤光栅敏感元件的传感机理,以及将光纤光栅粘贴在金属弹片上对球面间隙进行测量的原理。对研制的光纤光栅传感器进行了性能测试,将其用
一、年 会 1944年第12届年会仍分区举行. 昆明区年会1944年10月14-15日举行(与其他七个科学团体联合举行),到会会员61人,宣读论文31篇.论文作者为吴大猷(4篇,指本人或本人及
巴金同志说:“香港《文汇报》为了庆祝创刊三十年出版纪念文集,向我约稿,我答应写一组《创作回忆录》。……我写这些《回忆》,不管怎样东拉西扯,绝不是无病呻吟,更不是无的
本文制备了一种新型的有机气敏材料─取代稀土双酞菁,该材料具有优良的溶解性能和成膜性能,无需任何分子支撑剂即可较好地在纯水亚相上形成LB膜。当铺展量为0.5mg/m时,崩溃压
采用分析纯FeCl·6HO和NH·HO为主要原料,控制不同Cu
随着现代科学技术的发展,航空航天及地质勘探业迫切需要能够在更高的温度下工作的新型压电陶瓷材料及其器件。本文综述了近年来高性能、高居里温度压电陶瓷材料的研究进展。
氧化锌(ZnO)具有较宽的带隙(3.3eV)和较低的亲和势(3.0eV),有可能用作薄膜场发射中的阴极材料。本文主要研究了采用射频溅射法制备不同掺杂(Al)浓度ZnO薄膜时,掺杂浓度对光致
本文阐述用光刻、湿法腐蚀和键合等微细加工技术进行微全分析系统中微通道的研制过程。采用SU-8胶和硅材料制作出了作为聚二甲基硅氧烷的母模板。在优质玻璃材料上制作出微通