【摘 要】
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将传统的"脉冲-飞行时间"(TOF)技术与时间相关单光子计数(TCSPC)技术相结合可以达到单光子级别的灵敏度.迄今为止，基于T℃SPC的激光测距与三维成像系统精度已经可以达到毫
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海200050
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将传统的"脉冲-飞行时间"(TOF)技术与时间相关单光子计数(TCSPC)技术相结合可以达到单光子级别的灵敏度.迄今为止，基于T℃SPC的激光测距与三维成像系统精度已经可以达到毫米级别.本文主要介绍了基于TCSPC技术的1550nm波段3D激光成像系统，使用超导纳米线单光子探测器(SNSPD)系统作为接收端并且其系统时间抖动仅有44-ps.由于SNSPD的低暗计数以及低时间抖动的特性，在2.5 m的成像距离下可获得目标物的三维精细结构，成像精度达到5mm.除此之外，根据收集的光子数信息，我们可以获得目标物的反射率图像.
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