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新竹清华大学位于台北市南方７０公里处，紧邻台湾矽半导体工业集中地之新竹科学工业园区。１９９１年新竹清华大学购入一台Ｃａｍｅｃａ ＩＭＳ－４ｆ二次离子质谱仪，为台湾地区第一部开放供学术研究和工业服务用之二次离子质谱仪。该论文报道如何建立二次离子质谱分析技术以符合种种不同的需求包括人员训练，标准品制备、研发分析方法和仪器维修。应用二次离子质谱分析技术于基础和应４和研究，强调群队合作推广二次离子质谱分析技术之重要性。从在台湾二次郭质谱仪的数目增加，二次离子质谱分析的需求增加，最重要的是，利用二次离子质谱仪所发表的论文增加，显示努力之结果非常丰富。新竹清华大学研发、推展和应用二次离子质谱技术的经验，可供拟快速发展矽半导体工业地区之参考。