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对制备成本低、转换效率高的薄膜太阳能电池来说，把多晶硅薄膜上生长在玻璃上是一种很好的途径。在非硅衬底上采用直接沉积法形成的晶粒尺寸一般都小于1微米，并且容易在晶粒间形成空隙。一种可行的办法是在低于玻璃的软化温度下先形成一层很薄的、晶粒横向尺寸比较大的多晶硅种子层，然后把这个种子层作为模板进行低温外延加厚生长。