簧片式硅弹性膜应力分布的计算和加速度传感器的优化设计

来源 :中国电子学会'98敏感技术学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tanwenbin89
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为了提高我们已研制成功的“新型簧片式硅加速度传感器”的性能,用“有限元法”计算了不同形状和尺寸的质量块在40g值加速度作用下产生的应力分布。使我们优选了最佳的质量块设计方案,显著地提高了灵敏度,取得了与理论计算符合得很好的实验结果。
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