改善PbTe/PbSnTe液相外延表面质量的研究

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前言研制多元红外探测器,对液相外延薄膜要解决大面积表面平整光亮的问题,取决于异质界面的平整光亮。n-PbTe/p-PbSnTe双层异质外延中,p-Pb_(1-x)Sn_xTe是液相异质结外延的关键。为获得Pb_(1-x)Sn_xTe的x=0.2,即响应波段是8~14μm,结构完整性好而表面又平整光亮,夹裹物、沉淀物少的高质量的薄膜,采用了两相溶液法,外延生长p-Pb_(1-x)Sn_xTe。通过俄歇能谱扫描曲线和电子探计对其表面上的夹裹物和沉淀物的分析,证明是无碲的过剩铅 Preface The development of multiple infrared detectors, the liquid epitaxial thin film to solve the problem of large area surface smooth and bright, depending on the flat and bright heterogeneous interface. In n-PbTe / p-PbSnTe bilayer heteroepitaxy, p-Pb_ (1-x) Sn_xTe is the key to the heteroepitaxy of liquid phase. In order to get x = 0.2 of Pb_ (1-x) Sn_xTe, that is, the response band is 8 ~ 14μm, the structural integrity is good and the surface is smooth and bright. Act, epitaxial growth of p-Pb_ (1-x) Sn_xTe. The analysis of inclusions and precipitates on its surface by Auger energy spectrum scanning curves and electron probe proves to be excess lead free of tellurium
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