不同气压下氦气介质阻挡辉光放电的特性研究

来源 :第十三届全国等离子体科学技术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qingming_369
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  大气压下辉光放电(APGD)在空气净化中有良好的应用前景。本文选取了大气压下普遍认为较易产生辉光放电的氦气作为反应气体,分别在不同气压(数百帕直至大气压)下,将其以一定的流速通过覆有介质材料的两平板电极之间,利用频率可变的高频电源,产生了介质阻挡辉光放电。采用日本Kando小组提出的修正的朗缪尔探针法,测得了等离子体的电子温度和电子密度。通过对不同气压下的放电电压和电流及等离子体参数的比较,讨论了压强变化对于氦气环境下稳定辉光放电的影响。为进一步研究大气压下辉光放电的机理,实现大气压下空气环境中稳定的辉光放电提供了重要参考。
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