【摘 要】
：
硅片表面时间依赖性雾(Time Dependent Haze,TDH)是硅抛光片经过清洗及检测过程,存放在密封聚丙烯存储盒内一段时间后,在硅片表面形成的高度集中的呈雾状分布的颗粒.TDH
【机 构】
：
有研新材料股份有限公司,北京 100088
【出 处】
：
2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
论文部分内容阅读
硅片表面时间依赖性雾(Time Dependent Haze,TDH)是硅抛光片经过清洗及检测过程,存放在密封聚丙烯存储盒内一段时间后,在硅片表面形成的高度集中的呈雾状分布的颗粒.TDH的形成一般需要很长时间,而且它的存在具有不稳定性,在硅片生产存放过程中出现TDH后,不能在有效时间内找到其产生原因,会对生产造成极大损失,对硅片生产厂家来说不能也保证硅片有效保质期.由于TDH的形成一般是在后续的存放过程,不能对它的产生进行提前预知,因而对于其产生原因的分析具有重要的指导意义.
其他文献
随着集成电路产业的迅猛发展,器件制造商对IC级硅单晶材料提出了更加严格的要求.而大直径单晶硅是制备器件所必须的衬底材料.由于单晶炉体内的高温环境以及高昂的实验成本使
目的探讨澄江县伤寒流行趋势,为今后防制工作提供科学依据。方法采用描述性流行病学方法,对澄江县1998—2007年期间疾病监测信息报告管理系统报告的伤寒疫情资料进行分析。结
伟大的理财分析师Benjamin Graham说,“投资人的智慧更多来源于性格而不是大脑。培养诸如耐心、审慎、独立、自律这样一些基本美德,比你拥有一个高的智商或者集中研究市场价
经典诵读是学习和传承中华优秀文化经典的读书方式,校园诵读经典活动可以丰富校园文化建设活动主题,是高校校园文化建设的重要途径之一.在前人研究成果的基础上,通过分析经典
基于学生工作品牌建设理念,结合扬州市职业大学构建德育生态系统的实践,探索大学生思想政治教育的抓手,坚持创新德育学分,开展文明修身工程,围绕“培养什么样的人、如何培养
螨类分布极广,我国菇类种植区均有螨类为害,其主要种类为蒲螨和粉螨,俗称菌虱。它们主要为害蘑菇、银耳、香菇、黑木耳、草菇、平菇等。 1.形态特征 蒲螨和粉螨的体色有黄褐
四川三河职业学院在办学实践中对“四课联动、双核共融”教育教学模式构建与实践进行了探索,以立德树人、为党育人、为国育才为指导,构建了框架和流程.“四课联动”解决了教
“七五”攻关项目《截桩技术研究—TK—1型大直径钢筋砼管桩截断机研制及应用》于1991年1月28日在武汉通过国家级鉴定。鉴定确认该项成果达到国际先进水平。目前国际市场上
一、新制度中并未规定用专用基金--增收留成基金进行投资。笔者认为，在不违反投资原则的基础上，增收留成基金已经形成一定财力规模，用此基金投资一些好的项目，取得收益，既改善了职
多孔硅二极管具有电子发射能力并有望用于显示器件,但由于显示器件的基底以玻璃为主,多孔硅的氧化不宜采用半导体器件工艺中常用的高温快速热氧化(Rapid Thermal Oxidati