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本文利用电容两极板间的静电力可以促使两极板相互靠近这一特点，提出了对静电驱动微细电解加工进行研究，以及设计静电驱动微细电解加工装置，其中静电驱动装置的电极采用单层铜结构的平面电极，电源采用频率脉宽可调的脉冲电源。论文分析了电解液浓度和电源频率对加工所能达到的间隙影响，得出了合理的脉冲频率和电解液浓度，然后进行了静电驱动电解加工实验。实验结果表明采用静电驱动技术来实现电极的微进给，能使间距达到微细电解加工要求，并且通过控制电源脉宽和频率也能实现自适应电解加工的目的。