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扫描隧道显微镜(STM)电加工方法作为新兴纳米尺度加工技术之一，具有广泛的应用前景。本文构造了基于STM电加工装置的针尖一样品模型，利用有限元方法计算获得了加工过程中，不同针尖几何模型下，样品表面和针尖一样品间隙间的电场强度分布；且基于电击穿时的电场强阈值，预测了在纳米尺度间隙下STM电加工过程中相应的刻蚀结果。通过对导电石墨样品表面进行纳米电加工试验，观察到由于针尖顶端的几何差异，加工形成了不同深径比的刻蚀坑。并且通过实验确定了最佳加工状态下的针尖曲率半径值，与有限元预测结果相一致，实验结果有效地验证了有限元计算和预测的结果。