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溶液法制备氧化铝介电薄膜及其场效应晶体管应用研究
【机 构】
：
山东大学材料液固结构演变与加工教育部重点实验室
【出 处】
：
第十八届全国高技术陶瓷学术年会
【发表日期】
：
2014年期
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期刊
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