【摘 要】
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斜角沉积法是一种新颖的薄膜沉积技术,通过控制基片的倾斜和旋转,可以获得不同于传统致密性薄膜的纳米多孔性结构,不尽具有可雕塑性,而且还具有各向异性、折射率可控等特
【机 构】
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暨南大学物理系,广东,广州510632
【出 处】
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广东省真空学会2010年年会暨广东省真空与低碳技术交流会
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斜角沉积法是一种新颖的薄膜沉积技术,通过控制基片的倾斜和旋转,可以获得不同于传统致密性薄膜的纳米多孔性结构,不尽具有可雕塑性,而且还具有各向异性、折射率可控等特性,使其在减反膜、高反膜、滤光片、相位延迟片等光学薄膜的制备,生物传感器,太阳能电池,LED,液晶,激光器,光子晶体等方面都体现出了潜在的应用价值。本文在简单介绍了斜角沉积技术成膜工艺及薄膜微结构特性的同时,重点总结了其所能实现的功能性纳米结构薄膜材料的应用。
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